O-ring (joint torique) FFKM 78 Kalrez® 9300 - Diamètre du cordon 5 jusqu'à 5,5 mm

Application

Résistance à la température

Les joints toriques Kalrez® 9300 ont une plage de température de fonctionnement jusqu'à +300°C.


Principales caractéristiques de performance

• Faible taux d'érosion et génération de particules ultra-faible dans les plasmas à base d'oxygène et de fluor à dominante ionique/radicalaire
• Excellente résistance à la chimie des procédés de gravure
• Excellente stabilité thermique
• Excellente résistance mécanique


Applications suggérées

• Pour les applications de gravure diélectrique (semi-conducteurs)
• Joints d'admission de gaz
• Joints de couvercle de chambre
• Joints de vanne d'isolement
• Joints de vannes


Recommandé dans: Semi-conducteurs, haute technologie et optique